隨著真空泵結垢的開始，循環水在泵內的熱傳遞環境逐漸被破壞，熱交換效率將越來越低，結垢速度會越來越快。水垢成因大致包括以下幾個方面:

(1)受熱分解。

含有硬度成分的循環水進入真空泵后，隨泵的旋轉在泵體內形成水環做功發熱，使溶解在水中的重碳酸鹽逐漸分解，析出難于水的沉淀結成水垢。

(2)溶解度降低。

負溶解度溫度系數的SO4、CaSiO3、CaCO3等鹽類，隨著循環水水溫的增高溶解度降低析出沉淀結為水垢。

(3)相互反應。

循環水中原來溶解度較大的鹽類，在真空泵運行過程中，和其它鹽類相互反應生成難溶物質形成沉淀結成水垢。

(4)蒸發和濃縮。

由于循環水不斷做功發熱，不可避免地要產生蒸發和濃縮，使水中溶解鹽的濃度不斷增大，達到飽和時析出沉淀形成水垢。