材料的放氣率、滲透率和飽和蒸氣壓決定了材料的超高真空性能。

超高真空所需要的材料，除了應滿足真空材料一般要求外，還應滿足下列要求。

(1)在烘烤溫度下，材料不應該喪失其機械性能;殼體材料能承受外部大氣壓力。一般低熔點金屬和軟玻璃滿足不了這種要求。

(2)材料在烘烤溫度下蒸氣壓要低。

(3)材料的滲透氣體量不能超過允許值。

(4)材料加熱時不易變形。

(5)材料表面容易拋光。

從這些要求出發，適于超高真空中使用的通用材料有:無磁不銹鋼、高純鋁、無氧銅、金和硼硅酸玻璃、高鋁玻璃、氧化鋁陶瓷等。普通碳鋼因烘烤時會大量滲氫和易銹蝕而不適于做超高真空的結構材料。