所謂真空就是壓強低于101.3kPa(1個大氣壓)的氣態空間。真空度的高低用氣態空間的壓強大小來表示，即真空度越高，壓強就越低。

在工作應用中，常把電爐的真空度劃分為三種等級，即低真空，壓強為1.33 x 103-13.3Pa;中真空，壓強為13.3-1.33x10-2Pa;高真空，壓強為1.33x10-2-1.33x10-4Pa,目前，大多數真空熱處理爐所用的真空度為133-1.33x10-3Pa.

所謂真空熱處理是指熱處理工藝過程的全部或部分在真空狀態下進行。實際上，是把真空當作一種純度較高的保護氣體，能有效地防止工件在高溫下發生氧化脫碳反應，提高工件熱處理的表面質量或改進化學熱處理的效果。

現在，真空熱處理已用于淬火、退火、回火、滲碳、滲氮、滲金屬及其他表面硬化、表面合金化等工藝中。在淬火方面已實現了氣淬、油淬、硝鹽淬、水淬等處理。

獲得真空的主要設備是真空泵。真空熱處理爐常用的真空泵有:旋片式機械真空泵、滑閥式機械真空泵、機械增壓泵、油增壓泵和油擴散泵。前三種泵為機械類真空泵，后兩者為油蒸氣類真空泵。