往復真空泵的構造和原理與往復壓縮機基本相同，只是所用活門要求更加輕巧，啟閉方便。又當所達到的真空度較高時，例如，要得到95%真空度(即0.05[絕對大氣壓])，則壓縮比很大(約為20左右)，這樣，余隙中殘留氣體對真空泵抽氣量的影響就更大，所以必須從各方面設法降低余隙的影響。真空泵氣缸左右兩端之問設置平衡氣道，就是一種有效措施。在活塞排氣終了時，讓平衡氣道連通一個很短的時間，便可使余隙中殘留氣體從活塞的一側流到另一側，從而降低其壓強。氣缸外壁亦需冷卻裝置，以除去氣體壓縮和機械摩擦所生熱量。

可見，真空泵與壓縮機并不是彼此孤立存在的，它們之間既有區別又有聯系，區別是顯而易見的，其聯系之處為在一定條件下，例如將其進口接大氣，真空泵可以作為壓縮機用，反之亦然。

我國生產的往復真空泵以W(往)表示其型號，現已有Wl至W5五種主要規格。這種W型真空泵已被廣泛應用于各工業部門，化工廠常用于真空蒸餾、蒸發、結晶、干燥以及過濾等操作。這種泵屬于干式真空泵，即所抽除氣體中不應含有液體，或設法排除掉所含液體后再進入泵內。

真空泵的主要性能參數為:

(1)抽氣速率，即單位時間內真空泵在殘余壓強下所吸入的氣體體積，也就是真空泵的生產能力，以[米3/小時]表示。例如w型真空泵的抽氣范圍為60~770[米3/小時].

(2)殘余壓強或極限真空度，這是真空泵所能達到的最低壓強，習慣上除用%真空度表示外，又常以“托”表示，1[托]=標準大氣壓的1/760。例如w型真空泵的極限真空可達10[托，絕對]，是屬于粗真空設備之一。

真空泵的選用即根據上面兩個指標，當然在選用時也應考慮到它所需要的功率大小，以求經濟合理。